常见的有机废气处理方法包括光氧化催化、低温等离子体、微波催化、催化燃烧、活性炭吸附、生物液体降解等。由于无机废气涉及脱硫脱硝，工艺复杂，本文不做说明。由于行业、浓度、成分的不同，不能一概而论哪种方法好哪种方法不好，要具体问题具体分析。

　　光催化氧化法是利用一种特殊的高能高臭氧紫外光束照射废气，使有机或无机高分子化合物的分子链断裂，然后与臭氧反应生成低分子化合物，如CO2、H2O等。光氧化催化设备投资成本低，适用范围广，净化效率高，操作简单，除臭效果好，设备运行稳定，占地面积小，运行费用低，无二次污染。
　　吸附法利用吸附剂的吸附作用，将有机废气从气相转移到固相，适用于处理浓度低、净化要求高的有机废气。净化效率很高，可以处理多组分有机废气。吸附剂昂贵且难以再生，这要求待处理的有机废气具有低的温度和粉尘含量。
　　低温等离子体产生具有高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和受激分子。废气中的污染物与这些活性基团发生高能反应，转化为CO2和H2O等物质，从而净化废气。适用范围广，净化效率高，特别适用于其他方法难以处理的多组分有机废气，设备占地面积小；电子能量高，几乎能与所有有机废气分子相互作用；运营成本低；快速响应，快速停止，随时可用。但含有水、粉尘和有机气体的废气易爆炸，一次性投资成本高。